特許

J-GLOBAL ID：200903020449362744

表面異物検査装置

発明者： 木村 俊介 ,  山本 義春
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-049918
公開番号（公開出願番号）：特開2003-247957
出願日： 2002年02月26日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】 異物検査に要する時間の短縮化と高い検出感度を実現した表面異物検査装置を提供する。【解決手段】 被検査物4上の異物を光学的手段を用いて検査する表面異物検査装置であって、被検査物4を載置して移動するステージ4aと、被検査物4の表面に光を照射する光照射手段5と、被検査物4上の異物による散乱光3aを反射させて平行光3bとするシリンドリカルミラー1および当該平行光3bを集束させる集束レンズ2を備えた集光手段12と、当該集束された光を検出する光検出手段6と、光検出手段6の出力信号および異物の被検査物4上における位置情報を処理する情報処理装置100とを備える。

請求項（抜粋）：

被検査物上の異物を光学的手段を用いて検査する表面異物検査装置であって、被検査物を載置して移動するステージと、前記被検査物の表面に光を照射する光照射手段と、前記被検査物上の異物による散乱光を反射させて平行光とする第一のシリンドリカルミラーおよび当該平行光を集束させる集束レンズを備えた集光手段と、当該集束された光を検出する光検出手段と、前記光検出手段の出力信号および前記異物の被検査物上における位置情報を処理する情報処理装置とを備えたことを特徴とする表面異物検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J

Fターム (16件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051CC09 ,  2G051CC11 ,  2G051DA05 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA42 ,  4M106DB02 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DJ11