特許

J-GLOBAL ID：200903020450477482

整形金属パターンの製造方法

発明者： 照屋 嘉弘 ,  山中 康弘
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-139311
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335726
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】 印刷回路等の不要金属パターンのレーザビーム加工に関し、ドリルでは加工困難な高精度の金属パターンの加工を可能とする整形金属パターンの製造方法を提供することを目的とする。【構成】 支持体に不要部を有する金属パターン(1)が固定されている対象物(18)を準備する工程と、前記不要部の形状、位置をデータ化する工程(S1)と、エキシマレーザビームを前記データに基づいて整形し、所定の第1のエネルギ密度で前記不要部に照射して、不要部の金属パターンを除去する除去工程(S8)と、前記エキシマレーザビームのエネルギ密度を前記第1のエネルギ密度より低い値に設定し、前記不要部を含む拡大領域に照射してクリーニングを行なうクリーニング工程(S15)とを含む。

請求項（抜粋）：

支持体に不要部を有する金属パターンが固定されている対象物を準備する工程と、前記不要部の形状、位置をデータ化する工程と、エキシマレーザビームを前記データに基づいて整形し、所定の第1のエネルギ密度で前記不要部に照射して、不要部の金属パターンを除去する除去工程と、前記エキシマレーザビームのエネルギ密度を前記第1のエネルギ密度より低い値に設定し、前記不要部を含む拡大領域に照射してクリーニングを行なうクリーニング工程とを含む整形金属パターンの製造方法

IPC (5件)：

H05K 3/22 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/16 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/08