特許
J-GLOBAL ID：200903020458426321
角速度センサとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-310531
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160099
出願日： 1992年11月19日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 高性能(高感度)な小型かつ低コストの振動ジャイロ方式の角速度センサを実現すること。【構成】 平板の一部をエッチング除去してなる重り部と、該重り部と平板部とを接続する検出用梁部と、重り部および検出用梁部の角速度によって生ずたコリオリ力を受けて検出用梁部が面内方向に歪変形する変形量を検知する手段とを有する第1の平板部と、第1の平板部を面内方向と略直交する方向に振動させる振動機構とその振動源とを有する第2の平板部と、第1の平板部と第2の平板部とを各面内方向が略平行となるように結合させる結合部により構成されている。
請求項（抜粋）：
平板の一部をエッチング除去してなる重り部と、該重り部と前記平板部とを接続する検出用梁部と、前記重り部および検出用梁部の角速度によって生ずたコリオリ力を受けて検出用梁部が面内方向に歪変形する変形量を検知する手段とを有する第1の平板部と、前記第1の平板部を面内方向と略直交する方向に振動させる振動機構とその振動源とを有する第2の平板部と、前記第1の平板部と第2の平板部とを各面内方向が略平行となるように結合させる結合部により構成されたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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