特許

J-GLOBAL ID：200903020458444621

金属超微粒子の製造装置および金属超微粒子の製造方法

発明者： 田中 努 ,  中村 孝則 ,  唐沢 泰彦
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-044244
公開番号（公開出願番号）：特開2002-241806
出願日： 2001年02月20日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】 アーク放電を利用して金属超微粒子を生成する際に、アーク柱の形状を安定して維持することで、高品質の金属超微粒子を安定して生成することができる金属超微粒子の製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 アーク柱の形状を維持するために、放電用電極13およびターゲット5の間(電極間隔D)をほぼ一定に維持する。特に、アーク放電を発生させた場合の放電電圧を検知して、該放電電圧をほぼ一定の値に維持するように上記放電用電極13の位置を変化させることによって、電極間隔Dの維持をより容易かつ正確に実施することができる。

請求項（抜粋）：

放電用電極と、該放電用電極に近接した位置に設けられ、金属母材を保持する保持電極と、これらに接続されるアーク電源とを備えており、アーク電源より上記放電用電極および保持電極の間に電圧を印加することによってアーク放電を発生させる金属超微粒子の製造装置において、さらに、アーク放電の発生に伴う放電電圧を検知する電圧検知手段と、上記放電用電極または保持電極の何れか一方の位置を変化させて、放電用電極および金属母材の間の間隔を変化させる位置変化手段と、少なくとも該位置変化手段の動作を制御することにより上記放電電圧をほぼ一定の値に維持する制御手段とを備えていることを特徴とする金属超微粒子の製造装置。

Fターム (3件)：

4K017AA02 ,  4K017CA08 ,  4K017EA13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-190302
  
• 特開昭60-194003
  
• 特開昭61-223109
  
• 特開昭62-103308