特許
J-GLOBAL ID:200903020473883763
ボンディング装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
仁科 勝史
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-047506
公開番号(公開出願番号):特開平6-244246
出願日: 1993年02月13日
公開日(公表日): 1994年09月02日
要約:
【要約】【目的】収納リール巻取り方式と定寸切断収納方式の両収納方式を兼用できるボンディング装置を提供する。【構成】?@ボンディング装置本体は、供給リールとテープ駆動機構とボンディング部と収納リールを有する。?Aボンディング装置本体にテープ取出し口を開口し、ボンディング部とテープ取出し口との間にテープのたわみを検出する第1のセンサとテープの張りを検出する第2のセンサを設ける。?Bボンディング装置本体の取出し口外側に定寸切断収納ユニットを設置する。?Cチップボンディング後のキャリアテープの、収納リールへの巻取と定寸切断ユニットへの送り出しとを選択可能にする。
請求項(抜粋):
所定間隔でチップ接合部が形成されたキャリアテープの巻かれた供給リールとキャリアテープの送り動作を行なうテープ駆動機構とキャリアテープの接合部にチップを接合するボンディング部とチップが接合されたキャリアテープを巻き取る収納リールを有するボンディング装置本体の、収納リール側に外部へのテープ取出し口を開口し、該テープ取出し口内側に案内ローラを設けると共に、テープ送りを制御するためにボンディング部とテープ取出し口との間のキャリアテープの搬送経路にテープのたわみを検出する下限検出用第1のセンサとテープの張りを検出する上限検出用第2のセンサを設け、テープ取出し口外側に定寸切断収納ユニットを設置し、チップボンディング後のキャリアテープの収納リールへの巻取と定寸切断収納ユニットへの送り出しの選択を可能にしたことを特徴とするボンディング装置。
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