特許
J-GLOBAL ID：200903020477124301
イオン銃
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 馨 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-209596
公開番号（公開出願番号）：特開平9-063492
出願日： 1995年08月17日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 イオンアシスト蒸着におけるイオン電流密度を高め、窒化反応を促進させること。【解決手段】 ガス導入ノズルNを有するディスチャージチャンバ21と、ディスチャージチャンバ内に熱電子を放出するカソード22と、放出された熱電子を加速するアノード23と、加速された熱電子との衝突によって生成されたガス中の元素のイオンを引き出すためのスクリーングリッド24及びアクセルグリッド25とを有してなるイオン銃において、カソード22、アノード23及びスクリーングリッド24をPt,W又はTaにより構成する。
請求項（抜粋）：
ガス導入系を有するディスチャージチャンバと、前記ディスチャージチャンバ内に熱電子を放出するカソードと、前記熱電子を加速するアノードと、前記加速された熱電子との衝突によって生成されたイオンを引き出すためのスクリーングリッド及びアクセルグリッドとを有してなるイオン銃において、前記カソード、アノード及びスクリーングリッドのそれぞれの全部又は一部をPt,W又はTaから構成してなることを特徴とするイオン銃。
IPC (4件)：
H01J 27/08
, C23C 14/48
, H01J 37/08
, H01J 37/317
H01J 27/08
, C23C 14/48 Z
, H01J 37/08
, H01J 37/317 Z
