特許
J-GLOBAL ID：200903020486833943
耐摩耗性の優れた表面改質層の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-290532
公開番号（公開出願番号）：特開平5-098439
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：
【要約】【目的】 B+ イオン注入による表面改質層を厚く形成することによって、金属材料の耐摩耗性を飛躍的に向上させる表面改質層の形成方法を提供する。【構成】 イオン注入処理を施すことによって金属材料表面に耐摩耗性の優れた表面改質層を形成する方法であって、上記金属材料表面にB+ イオン注入を行うと共にTi蒸着を行うことにより、金属材料表面にTiB2薄膜を形成し、TiB2 薄膜における前記金属材料へのB放出効果を利用してTiB2 薄膜中のBを金属材料表面へ拡散浸透させる様にした。
請求項（抜粋）：
イオン注入処理を施すことによって金属材料表面に耐摩耗性の優れた表面改質層を形成する方法であって、上記金属材料表面にB+ イオン注入を行うと共にTi蒸着を行うことにより、金属材料表面にTiB2 薄膜を形成し、TiB2 薄膜における前記金属材料へのB放出効果を利用してTiB2 薄膜中のBを金属材料表面へ拡散浸透させる様にしたことを特徴とする耐摩耗性の優れた表面改質層の形成方法。
IPC (5件)：
C23C 14/48
, C23C 8/38
, C23C 8/68
, C23C 14/14
, C23C 14/24
