特許

J-GLOBAL ID：200903020489862464

検査方法及び装置

発明者： 小林 弘太郎 ,  石井 彰一 ,  湯川 典昭
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-198169
公開番号（公開出願番号）：特開2002-014058
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】 立体的な検査対象パターンを1次元CCD撮像素子で撮像して検査する際に、撮像範囲に対して均等に照明できてワーク上の検査対象パターンの適正な画像を得ることができる検査方法及び装置を提供する。【解決手段】 ワーク1上の撮像範囲5に対して4方向からのライン照明手段11〜14を組み合わせて照明することによりワーク1上の検査対象パターンで拡散した光が1次元CCD3に入力する光の強度が均一になるようにし、立体的な検査対象パターンの適正な画像が得られるようにした。

請求項（抜粋）：

ワーク表面上の立体的な検査対象を撮像レンズ系を介して1次元撮像素子で撮像して検査する際に、1次元撮像素子によるライン状の撮像範囲に対してライン照明にて4方向から均等に照明することを特徴とする検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/958 ,  G01M 11/00

FI (2件)：

G01N 21/958 ,  G01M 11/00 T

Fターム (8件)：

2G051AA73 ,  2G051AB07 ,  2G051BA02 ,  2G051BB02 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC09 ,  2G086EE10