透明物体中の微小欠陥検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：原田信市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-082019
公開番号（公開出願番号）：特開平8-254505
出願日： 1995年03月15日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】透明物体の内部の微小な泡や表面に付着した微小な内面異物等を、自動的に高速で精度良く検出できるようにする。【構成】ガラスびん1等の透明物体に収斂されたレーザ光線4を照射して、透明物体の一方の面5から入射したレーザ光線を他方の面9で反射させて再び一方の面から出射させ、レーザ光線の入射点aから出射点bまでの間を含む領域をカメラ7で撮像し、その画像について入射点aによる反射像Aと出射点bによる反射像Bの間における反射像C・Dを検出し、その検出した反射像から微小欠陥の有無を判定する。

請求項（抜粋）：

透明容器等の透明物体に収斂されたレーザ光線を照射して、透明物体の一方の面から入射したレーザ光線を他方の面で反射させて再び一方の面から出射させ、レーザ光線の入射点から出射点までの間を含む領域をカメラで撮像し、その画像について入射点による反射像と出射点による反射像の間における反射像を検出し、その検出した反射像から微小欠陥の有無を判定することを特徴とする透明物体中の微小欠陥検出方法。

IPC (3件)：

G01N 21/90 , G01N 21/88 , G06T 7/00

FI (3件)：

G01N 21/90 A , G01N 21/88 J , G06F 15/62 400

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-024541
特開平4-001507
特開昭47-004748

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