特許

J-GLOBAL ID：200903020511938917

共焦点走査型光学顕微鏡

発明者： 上野台 浅雄
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-260848
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104522
出願日： 1996年10月01日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】装置の構成を複雑にすることなく、試料からの反射光を光量を無駄にロスせずに共焦点画像及び非共焦点画像として明るい画像を得る。【解決手段】光源1 と、光源1 から発した光を試料11上に集光する対物レンズ10と、光源1 と上記対物レンズ10の間に配置され、対物レンズ10に入る光の入射角度を変化させることにより試料上を互いに直交する方向に走査するガルバノメータミラー4,7 と、試料11からの光を共焦点絞りとしてのピンホールミラー17を通過させて検出して共焦点画像信号を出力する第1の検出器18と、共焦点絞りを通過せずに反射した光を検出する第2の検出器20と、第1の検出器18の出力する共焦点画像信号と第2の検出器20の出力とを加算して非共焦点画像信号を出力する加算器(23)とを備える。

請求項（抜粋）：

光源と、上記光源から発した光を試料上に集光する対物レンズと、上記光源と上記対物レンズの間に配置され、上記対物レンズに入る光の入射角度を変化させることにより試料上を互いに直交する方向に走査する光偏向部材と、上記試料からの光を共焦点絞りを通過させて検出して共焦点画像信号を出力する第1の検出器と、上記共焦点絞りを通過せずに反射した光を検出する第2の検出器と、上記第1の検出器の出力する共焦点画像信号と上記第2の検出器の出力とを加算して非共焦点画像信号を出力する加算器とを具備したことを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。