特許
J-GLOBAL ID:200903020515669600

感光性組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中島 幹雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-129726
公開番号(公開出願番号):特開平5-181266
出願日: 1992年04月24日
公開日(公表日): 1993年07月23日
要約:
【要約】【目的】 塗布性、感光液の保存性が向上し、更に露光可視画性、溶剤溶解性に優れている。【構成】 感光性組成物に下記の共重合体からなるフッ素系界面活性剤を含む。1)炭素原子数が6〜20かつフッ素含有量が30重量%以上のフルオロ脂肪族基を含むアクリレート又はメタクリレート2)(ポリオキシアルキレン)アクリレート又は(ポリオキシアルキレン)メタクリレート該共重合体の分子量が1000〜6000、かつ1)の含有量が前記共重合体の重量の10〜25重量%以上である。フルオロ脂肪族基は完全にフッ素化されたものが好ましい。
請求項(抜粋):
フッ素系界面活性剤を含有する感光性組成物において、該フッ素系界面活性剤が下記の1)及び2)の共重合体であり、該共重合体の重量平均分子量が1000〜6000であり、かつ1)の含有量が前記共重合体の重量の10〜25重量%以上であることを特徴とする感光性組成物。1)炭素原子数が6〜20かつフッ素含有量が30重量%以上のフルオロ脂肪族基を含むアクリレート又はメタアクリレート2)(ポリオキシアルキレン)アクリレート又は(ポリオキシアルキレン)メタアクリレート
IPC (4件):
G03F 7/004 504 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 521 ,  G03F 7/027 501

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