特許
J-GLOBAL ID：200903020519658786
薄膜製品の製造方法および薄膜製品の製造ライン管理システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-079927
公開番号（公開出願番号）：特開平10-275842
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：
【要約】【課題】薄膜製品の製造方法において、特にライン内の製造設備の処理状態の信頼度レベルの判定・管理を行うことで歩留り向上を支援する。【解決手段】本発明は、複数の製造設備によって構成される製造ラインを用いて被処理物に対して処理を施して薄膜製品を製造する薄膜製品の製造方法において、前記各製造設備における処理状態を、被処理物に対する処理の来歴に応じて目標とする処理状態を基に判定して処理信頼度レベルを付与し、この付与された処理の来歴に応じた製造設備毎の処理信頼度レベルで前記製造ラインを管理または制御することを特徴とする薄膜製品の製造方法である。
請求項（抜粋）：
複数の製造設備によって構成される製造ラインを用いて被処理物に対して処理を施して薄膜製品を製造する薄膜製品の製造方法において、前記各製造設備における処理状態を、被処理物に対する処理の来歴に応じて目標とする処理状態を基に判定して処理信頼度レベルを付与し、この付与された処理の来歴に応じた製造設備毎の処理信頼度レベルで前記製造ラインを管理または制御することを特徴とする薄膜製品の製造方法。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, C23C 14/54
, H01L 21/02
, C23F 4/00
H01L 21/66 Z
, C23C 14/54 Z
, H01L 21/02 Z
, C23F 4/00 Z
