特許
J-GLOBAL ID：200903020526947963
プラズマクリーニング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-014630
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206094
出願日： 1992年01月30日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】 プラズマクリーニング装置の被処理物のホルダーの構造の改良に関し、簡単且つ容易に行うことができるホルダーの構造の改良により、ホルダーの温度分布を均一にすることが可能となるプラズマクリーニング装置の提供を目的とする。【構成】 部材を室内圧を減圧したガラスチャンバ1内に載置し、このガラスチャンバ1の周囲に配設した上部電極板5と下部電極板6の間に高周波電源7を用いて高周波電圧を印加してこのガラスチャンバ1内に発生させたプラズマにより、この部材の表面をクリーニング処理するプラズマクリーニング装置において、この部材を搭載するホルダー4の両端部に、熱容量がこのホルダー4よりも小さな部材14を設けるか、或いはこの部材を搭載するホルダー4の中央部に、熱容量がこのホルダー4よりも大きな部材を設けるように構成する。
請求項（抜粋）：
部材(8) を室内圧を減圧したガラスチャンバ(1) 内に載置し、前記ガラスチャンバ(1) の周囲に配設した上部電極板(5) と下部電極板(6) の間に高周波電源(7) を用いて高周波電圧を印加して前記ガラスチャンバ(1) 内に発生させたプラズマにより、前記部材(8) の表面をクリーニング処理するプラズマクリーニング装置において、前記部材(8) のホルダー(4) の両端部に、熱容量が前記ホルダー(4) よりも小さな部材(14)を設けたことを特徴とするプラズマクリーニング装置。
IPC (5件)：
H01L 21/304 341
, B08B 7/00
, H01L 21/302
, H01L 21/68
, H05H 1/46
