積層型圧電アクチユエータおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-159710
公開番号（公開出願番号）：特開平5-003352
出願日： 1991年06月04日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】積層型圧電アクチュエータの駆動時における応力集中を防止する。【構成】積層型圧電アクチュエータの側面にせり出し部3a,3bを設け、内部電極2a,2bと外部電極4a,4bとの間に生じた隙間を絶縁物質5で充填する。【効果】絶縁物質層が圧電セラミックス板からはがれにくく、積層型圧電アクチュエータの駆動時において応力集中が防止でき、また、製造も簡単な積層型圧電アクチュエータが提供できる。

請求項（抜粋）：

圧電セラミックス板をその一平面に形成した内部電極を介して複数枚積層して積層体を形成し、前記積層体の相対向する側面にそれぞれ形成した外部電極に対し前記内部電極を交互に接続した積層型圧電アクチュエータにおいて、前記圧電セラミックス板を一方向に互い違いにずらして積層することにより、前記積層体の相対向する側面にそれぞれ前記圧電セラミックス板のせり出し部を形成し、前記せり出し部の間に形成された隙間にそれぞれ該隙間を埋める絶縁物質層を形成し、前記せり出し部が形成された前記積層体の相対向側面にそれぞれ前記外部電極を形成することにより、相対向する前記外部電極に対し前記内部電極を交互に接続したことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。

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