特許

J-GLOBAL ID：200903020528818575

高耐食性膜付き部材及びその製造方法

発明者： 岡部 信一
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-061003
公開番号（公開出願番号）：特開2000-256878
出願日： 1999年03月09日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】【課題】 合計10μm以下の膜厚でも高耐食性を有し、厳しい寸法精度が要求される精密部品や、複雑形状の部品にも適用でき、しかも後加工が不要で比較的低コストで得られる高耐食性膜付き部材、及び、その製造方法を提供する。【解決手段】 部材表面に、第1層としてTi、Al、Ni、Zr、Hf、V、Nb、TaまたはCrから選ばれる少なくとも1種の金属膜または金属合金膜が厚さ1〜2μm、第2層としてアルミナ膜またはマグネシア膜が厚さ1〜5μm、第3層としてポリパラキシリレン樹脂膜が厚さ1〜5μm順次形成され、かつ、第1層〜第3層の厚さの合計が10μm以下である高耐食性膜付き部材。

請求項（抜粋）：

部材表面に、第1層としてTi、Al、Ni、Zr、Hf、V、Nb、TaまたはCrから選ばれる少なくとも1種の金属膜または金属合金膜が厚さ1〜2μm、第2層としてアルミナ(Al2O3)膜またはマグネシア(MgO)膜が厚さ1〜5μm、第3層としてポリパラキシリレン樹脂膜が厚さ1〜5μm順次形成され、かつ、第1層〜第3層の厚さの合計が10μm以下である高耐食性膜付き部材。

IPC (6件)：

C23C 28/00 ,  B32B 15/08 ,  C08L 65/04 ,  H01F 1/053 ,  H01F 41/02 ,  C23C 14/06

FI (6件)：

C23C 28/00 B ,  B32B 15/08 G ,  C08L 65/04 ,  H01F 41/02 G ,  C23C 14/06 N ,  H01F 1/04 A

Fターム (61件)：

4F100AA18B ,  4F100AA19B ,  4F100AB01A ,  4F100AB03D ,  4F100AB10A ,  4F100AB12A ,  4F100AB13A ,  4F100AB16A ,  4F100AB19A ,  4F100AB31A ,  4F100AB40A ,  4F100AK80C ,  4F100AT00D ,  4F100BA04 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10C ,  4F100BA10D ,  4F100BA13 ,  4F100GB51 ,  4F100JA20A ,  4F100JA20B ,  4F100JB02 ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B ,  4J002CE001 ,  4K029AA02 ,  4K029BA02 ,  4K029BA03 ,  4K029BA07 ,  4K029BA12 ,  4K029BA17 ,  4K029BA43 ,  4K029BA44 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC01 ,  4K029BD11 ,  4K029CA03 ,  4K029GA03 ,  4K044AA02 ,  4K044AA06 ,  4K044BA02 ,  4K044BA10 ,  4K044BA12 ,  4K044BA13 ,  4K044BA21 ,  4K044BB04 ,  4K044BC02 ,  4K044CA13 ,  4K044CA14 ,  5E040AA03 ,  5E040AA04 ,  5E040AA19 ,  5E040BC01 ,  5E040BC05 ,  5E040BC08 ,  5E040CA01 ,  5E040HB14 ,  5E040NN05 ,  5E062CD04 ,  5E062CG07