特許
J-GLOBAL ID：200903020529015174
表面形状測定方法及びその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-060449
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264213
出願日： 1992年03月17日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【目的】 本発明は触針を表面に接触させて表面形状を測定する方法及びその装置に関し、ゴミの付着により本来の形状を測定できない時にゴミの付着を識別し、測定結果を補正できる方法及び装置の実現を目的とする。【構成】 触針100を表面に接触させ接触点の位置変化を検出する検出部1と、検出部1を移動させる移動手段2とを備える表面形状測定機において、測定結果を記憶する記憶手段3と、記憶手段3に記憶された第一測定結果と検出部1の出力する第二測定結果との差を算出する差演算手段4と、差が所定値以上であるかを判定する判定手段5と、差が所定値以上の部分の補正をする補正手段6と、第一測定結果と第二測定結果が同一部分の測定結果であるように制御する制御手段7とを備える。
請求項（抜粋）：
触針を被測定物の表面に接触させて相対的に移動し、接触点の位置変動を測定する表面形状測定方法において、前記被測定物の所望部分を測定して第一測定結果として記憶する第一測定工程と、該第一測定工程の測定部分と同じ部分を測定して第二測定結果を得る第二測定工程と、前記第一測定結果と前記第二測定結果との差を算出する差演算工程と、前記差が所定量以上の部分をゴミ部分と判定する判定工程と、前記第一測定結果及び第二測定結果の少なくとも一方から、前記ゴミ部分の影響を除去する補正工程とを備えることを特徴とする表面形状測定方法。
IPC (2件)：
G01B 7/34 102
, G01B 7/28
