特許

J-GLOBAL ID：200903020529162096

基板支持アーム

発明者： 佐藤 誠也
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-095293
公開番号（公開出願番号）：特開平6-278806
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：

【要約】【目的】 発塵を抑えかつ所定の位置精度をもって基板を保持しつつ搬送する。【構成】 外縁支持体21a、21bが所定の遊びをもって半導体ウェハ4の底面方向の位置を規制するように、1組のガイド5a、5b相互間の開口長が調節される。半導体ウェハ4を保持しつつ搬送する過程で、半導体ウェハ4の外縁には拘束力が殆ど作用しないので、外縁からの発塵が最小限に抑えられる。更に、底面支持体22a、22bは、半導体ウェハ4の底面の中の外縁部分に当接するので、半導体ウェハ4の底面からの発塵や底面の汚染も微量に抑えられる。発塵を抑えるために必要な遊びの大きさには制限がないので、半導体ウェハ4の支持位置に対して要求される精度に応じて遊びの大きさを設定することができる。【効果】 発塵を抑えかつ所定の位置精度をもって基板を保持しつつ搬送し得る。

請求項（抜粋）：

水平および垂直に移動可能な移動体に取り付けられ、移動可能に基板を支持する基板支持アームであって、(a)前記基板を支持する1組の支持部材であって、互いに対向して配置され互いの間隔が可変である1組の支持部材、を備え、前記支持部材の各1は、(a-1)前記基板の底面における外縁部分に当接して、当該基板の前記底面に垂直な方向の位置を規制する底面支持体と、(a-2)前記基板の外縁に当接して、当該基板の前記底面に沿った方向の位置を規制する外縁支持体と、を備え、(b)前記1組の支持部材の相互の前記間隔を調整する開閉手段であって、当該1組の支持部材の前記外縁支持体が、前記基板の前記底面に沿った方向の位置を所定の遊びをもって規制するように前記間隔を調整する開閉手段、を更に備える基板支持アーム。

IPC (5件)：

B65G 1/04 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (2件)

• レチクル搬送機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-161237   出願人：日本電気株式会社
• 特開平2-271643