多自由度位置決めステージ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三觜晃司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-278712
公開番号（公開出願番号）：特開平11-114751
出願日： 1997年10月13日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】簡素化した、新規な位置決め機構により、光通信における反射鏡の位置決め、追尾用パラボラアンテナの位置合わせ、さらには多面体切削加工に適用可能とする。【解決手段】第1〜第3スライダ機構10a〜10cによってそれぞれ支持される第1〜第3リンク5〜7を、テーブル2を水平状態に支える際、取り付けヘッド23をねじシャフト15の軸方向に直角な軸25を中心にθ1 、傾斜させると共に、ねじシャフト15に平行な基軸23aを中心にθ2 、テーブル2中心側にそれぞれ傾斜させるようにする。かかる状態から、前記第1〜第3スライダ機構10a〜10cを駆動制御することで、ねじシャフト15上においてスラスタ部11を、ボールねじ19を介して移動させ、第1〜第3リンク5〜7を支える取り付けヘッド23を、基軸23aおよび軸25中心に回転調節して、テーブル2中心のボールジョイント4を中心に、テーブル2を旋回調節可能に支持するようにする。

請求項（抜粋）：

テーブルを所望位置に移動して位置決め調節する多自由度位置決めステージであって、前記テーブルを、テーブルの中心点においてテーブルスタンドに回動自在に支持する一方、前記テーブルの中心点に対して、適宜距離、離隔した複数の位置において、リンクの一端部をそれぞれ回動自在に連結して、これらのリンクの他端部を、それぞれのスライダ機構に回動自在に連結するようにし、前記スライダ機構は、長尺なスライダベースと、スライダベース両端間に回動自在に支持したねじシャフトと、ねじシャフトに回動力を与えるモータと、前記ねじシャフトに移動可能に装着したスラスタ部とを有し、このスラスタ部に、前記リンクの他端部を、ねじシャフト軸方向、およびねじシャフト軸に対して直角方向の軸廻りに回動可能に接続するようにし、前記それぞれのスライダ機構を適宜駆動制御することで、ねじシャフト上においてスラスタ部を移動させ、テーブルを、テーブルの中心点を回動中心として、旋回調節可能に構成したことを特徴とする多自由度位置決めステージ。

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