静電気測定装置および表面電位センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-231601
公開番号（公開出願番号）：特開2007-047015
出願日： 2005年08月10日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
要約：

【課題】測定する対象や用途などに応じて、好適な測定システムを構成するのが容易な静電気測定装置を提供する。【解決手段】表面電位センサ27と変位センサ36とを、アンプ部3,3’を介して結合、分離可能に構成し、複数の表面電位センサ27,27...を結合した状態では、変位センサ36で測定される距離のデータを、複数の表面電位センサ27,27...に伝送可能であり、各表面電位センサ27,27は、この距離のデータに基いて、測定される電位を補正して対象物の表面電位を算出するようにしている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

対象物の表面電位に応じた電位を測定する表面電位センサと、該表面電位センサと前記対象物との間の距離を測定する変位センサとを、結合、分離可能に構成し、前記表面電位センサで測定される電位と前記距離との関係に基く補正データが記憶される補正データ記憶部と、前記変位センサで測定される前記距離および前記補正データに基いて、前記表面電位センサによって測定される電位を補正して前記対象物の表面電位を算出する演算部とを備え、前記補正データ記憶部は、前記表面電位センサに設けられることを特徴とする静電気測定装置。

IPC (2件)：

G01R 29/12 , G03G 21/00

FI (2件)：

G01R29/12 Z , G03G21/00

Fターム (1件)：

2H134QA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

表面電位測定器
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-268473 出願人：シシド静電気株式会社

審査官引用 (15件)

帯電分布測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-182887 出願人：ヒューグルエレクトロニクス株式会社
特開平4-184854
特開平4-184854

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