特許

J-GLOBAL ID：200903020530590883

磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記憶装置

発明者： 藤巻 成彦 ,  柏瀬 英一 ,  細江 譲 ,  松本 洋 ,  渡辺 正博 ,  小角 雄一 ,  片岡 宏之
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-328779
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172130
出願日： 1996年12月09日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 磁性層上にテクスチャに相当する高さ5〜20nm程度の均一な突起を設けた保護層を備えた磁気記録媒体及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板1に形成した磁性層3の表面に、炭素に少なくとも珪素を5〜30at%含む材料からなる第1の皮膜4と炭素又は炭素に水素もしくは窒素を添加した材料から成る第2の皮膜7を順次形成し、第2の皮膜の表面に0.03μm2 〜300μm2 の面積を遮蔽する障害物8を被着させたのち、障害物を介して酸素プラズマもしくは酸素プラズマ及びアルゴンプラズマを作用させてから前記障害物を取り除くことで、高さが均一な突起5を形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に磁性層と前記磁性層上に形成された保護層とを有する磁気記録媒体において、前記保護層は前記磁性層の表面を連続して覆う皮膜と前記皮膜上に分散して形成された突起とで構成され、前記皮膜は炭素に少なくとも珪素を5〜30at%含む材料から成り、前記突起は炭素又は炭素に水素もしくは窒素を添加した材料から成ることをを特徴とする磁気記録媒体。

IPC (6件)：

G11B 5/66 ,  G11B 5/012 ,  G11B 5/72 ,  G11B 5/82 ,  G11B 5/84 ,  G11B 21/21 101

FI (6件)：

G11B 5/66 ,  G11B 5/012 ,  G11B 5/72 ,  G11B 5/82 ,  G11B 5/84 B ,  G11B 21/21 101 P