特許

J-GLOBAL ID：200903020531001733

搬送装置

発明者： 小林 光郎 ,  西方 昭雄 ,  遠藤 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-110099
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289862
出願日： 1997年04月14日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】露光動作中にも関わらず、次の露光動作の準備を予め行うことができ、もって露光動作の作業効率を向上させた搬送装置を提供する。【解決手段】第2制御装置101は、少なくとも第1制御装置100が露光処理の制御を実行しているときに、上下移動機構12を制御するので、第1制御装置100が露光処理の制御を実行しているために、他の制御が行えないような場合でも、第2制御装置101により上下移動機構12を駆動して、レチクルRが搬送できるようにし、それにより例えばレチクルRからの情報の読み取り等を独立して行うことができる。

請求項（抜粋）：

第1収納部と該第1収納部の下方に設けられた第2収納部とを有し原板を収納する原板収納装置と、前記原板を用いて所定の処理を施す処理装置と、前記原板収納装置と前記処理装置とを制御する第1制御装置とを備え、前記原板収納装置と前記処理装置との間で前記原板を搬送する搬送装置において、少なくとも前記第1制御装置が前記処理装置の制御を実行しているときに、前記原板収納装置を制御する第2制御装置を設けたことを特徴とする搬送装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B65G 47/48 ,  B65G 49/07 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

H01L 21/30 514 D ,  B65G 47/48 ,  B65G 49/07 C ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 J