特許
J-GLOBAL ID：200903020531863905
光導波路型回折格子の測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-182863
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033393
出願日： 1995年07月19日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【目的】 光導波路型回折格子の形状・構造及び光学特性を直接的且つ定量的に、且つ簡易に測定する光導波路型回折格子の測定装置を提供する。【構成】 光源からの光がリング絞り16の環状瞳16aを通過し、コンデンサレンズ18で平行光(参照光)hνとなり、屈折率整合剤28中に密封された光導波路型回折格子30の一側面より適宜の角度で照射する。参照光hνは光導波路型回折格子30中の屈折率分布に応じて回折し、その回折光が対物レンズ20を透過すると共に、0次回折光が位相板22に設けられた環状の位相膜22aを透過する際に位相変調され、他の高次回折光は位相膜22a以外の部分を透過し、CCD固体撮像デバイス24の受光面で干渉し合い、その干渉光のパターンが2次元撮像される。マイクロコンピュータシステム26がそのパターンの映像信号Sv について信号処理することにより、光導波路型回折格子30の特徴抽出を行う。
請求項（抜粋）：
光導波方向に沿って屈折率の変化分布を有する光導波路型回折格子を測定する光導波路型回折格子の測定装置において、前記光導波方向に対して直交する方向より前記光導波路型回折格子に参照光を照射する投光系と、前記参照光が前記屈折率の変化分布に応じて屈折されると共に透過又は反射してなる屈折光を任意の倍率で拡大する光学系と、前記光学系を通過した前記屈折光の投影パターンを受光する受光部と、を具備することを特徴とする光導波路型回折格子の測定装置。
IPC (4件)：
G01M 11/00
, G01B 11/24
, G02B 5/18
, G02B 6/00
G01M 11/00 T
, G01B 11/24 Z
, G02B 5/18
, G02B 6/00 A
