特許
J-GLOBAL ID：200903020535924003
半導体又は液晶用の保管庫
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323293
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153826
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 扉の閉鎖時には扉のシールが確実に行えるとともに、扉の開閉の際には発塵がなく、扉の開閉の操作性が良い半導体又は液晶用の保管庫を提供する。【構成】 保管庫本体1に設けられ永久磁石又は磁性体からなる本体側吸着部材6と、扉2に設けられ本体側吸着部材6との間で磁力が作用し合う磁性体又は永久磁石からなる扉側吸着部材8と、扉2に設けられ扉側吸着部材8を本体側吸着部材6から離間させ本体側吸着部材6との間の磁力を弱めるか又は作用し合わないようにする離間機構11,13,14とを備え、扉閉鎖時には本体側吸着部材6と扉側吸着部材8との間に作用し合う磁力により扉2をパッキン4を介して保管庫本体1に吸着させ、扉開放時には離間機構11,13,14を作動させて扉側吸着部材8を本体側吸着部材6から離間させ扉2を開放可能にする。
請求項（抜粋）：
保管庫本体と、前記保管庫本体の開口部を開閉する扉と、前記保管庫本体又は扉の少なくとも一方に設けられた弾性材からなるシール材とを備えた保管庫において、前記保管庫本体に設けられ永久磁石又は磁性体からなる本体側吸着部材と、前記扉に設けられ前記本体側吸着部材との間で磁力が作用し合う磁性体又は永久磁石からなる扉側吸着部材と、前記扉に設けられ前記扉側吸着部材を前記本体側吸着部材から離間させ本体側吸着部材との間の磁力を弱めるか又は作用し合わないようにする離間機構とを備え、扉閉鎖時には前記本体側吸着部材と前記扉側吸着部材との間に作用し合う磁力により前記扉を前記シール部材を介して前記保管庫本体に吸着させ、扉開放時には前記離間機構を作動させて前記扉側吸着部材を前記本体側吸着部材から離間させ前記扉を開放可能にすることを特徴とする半導体又は液晶用の保管庫。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 81/24
, B65D 85/86
