特許
J-GLOBAL ID：200903020537582789
タッチ信号プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-334978
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198364
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】 接触部の接触部位にかかわらず検出感度が良好なタッチ信号プローブを提供する。【構成】 接触部28Aを有する略柱状の振動子24に、その軸方向とこの軸方向を中心とする軸回り方向との2方向に同時に往復振動させるように前記圧電素子26を取付ける。振動子24の軸方向と被測定物の被測定面とが直交する場合には、接触部28Aの振動の拘束が接触部28Aの検出に大きな役割を果たし、振動子24の軸方向と被測定面とが平行である場合には、主に接触部28Aの軸回り方向の振動の拘束が接触部の検出に大きな役割を果たす。従って、接触時における前記2方向の振動の変化により接触角を求めることができるので、接触角による補正を行うことにより接触角によらないタッチセンサを実現できる。
請求項（抜粋）：
一端に被測定物と接触する接触部を有する略柱状の振動子と、この振動子を振動させる圧電素子とを備え、振動子の振動変化から接触部の被測定物への接触を検出するタッチ信号プローブにおいて、前記圧電素子は前記振動子を軸方向とこの軸方向を中心とする軸回り方向との2方向に同時に振動させるように構成されていることを特徴とするタッチ信号プローブ。
IPC (3件)：
G01B 21/00
, G01B 7/00
, H01L 41/09
