特許
J-GLOBAL ID:200903020545743732

ネガ型感光性電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴及びレジストパターンの製造法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 若林 邦彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-080115
公開番号(公開出願番号):特開平5-281741
出願日: 1992年04月02日
公開日(公表日): 1993年10月29日
要約:
【要約】【目的】 電着性が良好で、現像残りが大幅に低減された、高解像度のネガ型感光性電着塗料樹脂組成物を提供する。【構成】 (a)側鎖に光反応性不飽和基を有する酸価20〜300、数平均分子量が400〜50,000の光重合性樹脂を塩基性の有機化合物で中和した樹脂、(b)非水溶性光開始剤及び(c)例えば、下記式の化合物【化1】を含有してなるネガ型感光性電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴及びレジストパターンの製造法。
請求項(抜粋):
(a)側鎖に光反応性不飽和基を有する酸価20〜300、数平均分子量が400〜50,000の光重合性樹脂を塩基性の有機化合物で中和した樹脂、(b)非水溶性光開始剤及び(c)下記一般式(I)で表わされる化合物【化1】(式中、R1は、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基、アルコキシ基又は-X-R3(ただし、Xは、アルキレン基、シクロアルキレン基又はアルキレンエーテル基であり、R3は、水酸基、アルコキシ基、カルボキシル基もしくはその塩、スルホン酸基もしくはその塩又はジアルキルアミノ基である)を示し、R2は、水素原子、水酸基、アルキル基、フェニル基又は-Z-R4(ただし、Zは、アルキレン基、シクロアルキレン基又はアルキレンエーテル基であり、R4は、水酸基、アルコキシ基、カルボキシル基もしくはその塩、スルホン酸基もしくはその塩又はジアルキルアミノ基である)を示し、Yは、カルボキシル基もしくはその塩又はスルホン酸基もしくはその塩を示し、nは1〜3の整数(ただし、R1又はR2中にカルボキシル基もしくはその塩又はスルホン酸基もしくはその塩を有する場合には0でもよい)を示す)を含有してなるネガ型感光性電着塗料樹脂組成物。
IPC (8件):
G03F 7/038 501 ,  G03F 7/038 503 ,  C09D 5/44 PRN ,  C25D 13/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00

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