特許

J-GLOBAL ID：200903020552558266

熱伝導率測定装置及び方法

発明者： サンフォード・エム・マーカス ,  マイケル・リーディング
出願人/特許権者： ティーエイ・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-149323
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055738
出願日： 1994年06月30日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 変調示差走査熱量測定を用いて物質の熱伝導率を測定する方法を提供する。【構成】 サンプル位置112と、基準位置113と、サンプル温度熱電対114と、基準温度熱電対115と、熱電気ディスク116と、パージ気体入口117、パージ気体出口118と、銀ブロックヒータ120を含む電気炉119、銀リング121、銀リッド122、ヒータ熱電対123と、炉チャンバ124と、ヒータ・コントローラ125と、ADコンバータ126と、マイクロコンピュータ127と、を含むMDSC装置を用いて熱伝導率測定を行う。

請求項（抜粋）：

物質の熱伝導率を測定する方法において、(a)既知の厚さ、既知の寸法、既知の重量を有する薄いウエハの形態で、前記物質の第1のサンプルを準備するステップと、(b)前記物質の前記第1のサンプルを、一致する高い熱伝導率の物質から成り第1の質量の値を有する薄い層の中に封止するステップと、(c)平坦で平行な頂面と底面とを有しその高さが前記物質の前記第1のサンプルの厚さよりも大きな直角円柱として、前記物質の第2のサンプルを準備するステップと、(d)サンプル位置と基準位置とを有し、前記サンプル及び基準位置の温度を選択された変調角周波数と変調振幅とにおいて変調する手段を備えた示差走査熱量計を提供するステップと、(e)前記第1のサンプルを前記示差走査熱量計の前記サンプル位置に置くステップと、(f)前記高い熱伝導率の物質から成り第1の質量の値を有する薄いウエハを、前記示差走査熱量計の前記基準位置上に置くステップと、(g)前記第1のサンプルの有効熱容量を、(α)変調角周波数と変調振幅とを選択し、(β)前記選択した変調振幅と変調角周波数とに従って、前記サンプル位置と前記基準位置との温度を変動させ、(γ)前記基準位置への及び前記基準位置からの熱フローに対する、前記サンプル位置への及び前記サンプル位置からの熱フローの示差変化を表す示差信号を記録することによって、測定するステップと、(h)前記第1のサンプルを、前記サンプル位置から除去するステップと、(i)高い熱伝導率の物質の前記薄いウエハを、前記基準位置から除去するステップと、(j)前記第2のサンプルを、前記示差走査熱量計の前記サンプル位置上に置くステップと、(k)前記第2のサンプルの有効熱容量を、(α)変調角周波数と変調振幅とを選択し、(β)前記選択した変調振幅と変調角周波数とに従って、前記サンプル位置と前記基準位置との温度を変動させ、(γ)前記基準位置への及び前記基準位置からの熱フローに対する、前記サンプル位置への及び前記サンプル位置からの熱フローの示差変化を表す示差信号を記録することによって、測定するステップと、(l)前記第1及び第2のサンプルの前記測定された熱容量と、前記第1及び第2のサンプルの前記寸法及び重量と、前記変調角周波数とから、前記物質の熱伝導率を計算するステップと、を含むことを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G01N 25/18 ,  G01N 25/20