特許
J-GLOBAL ID：200903020554260906
干渉縞計数法を用いた振動ピックアップの絶対校正法における自動化方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯沼 義彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-059843
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239145
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 干渉縞計数法を用いた振動ピックアップの絶対校正法を自動化し、測定者による誤差の発生を防止し、短時間内に振動ピックアップの絶対校正を行なうことができるようにする。【解決手段】 干渉縞計数法を用いた振動ピックアップの絶対校正法における自動化方法は、加振振動数を設定振動数に設定し、目標振動加速度を決定した後、以下自動的に行なわれる段階、すなわち最低出力電圧で振動を発生させる段階103、検出振動加速度が上記目標振動加速度に達したか否かを判定する段階106、検出振動加速度が上記目標振動加速度に達しないときに更新出力電圧の下で振動を発生させる段階108、上記検出振動加速度が上記目標振動加速度に達したときの上記被校正振動ピックアップの検出出力電圧を読み取る段階109、このときの感度を演算する段階110等の各段階を含む。
請求項（抜粋）：
振動発生装置の加振振動数を設定振動数に設定し、目標振動加速度ref-acc を決定した後、以下の各段階を自動的に経て上記振動発生装置の被校正振動ピックアップの絶対校正を行なうようにした干渉縞計数法を用いた振動ピックアップの絶対校正法における自動化方法であって、上記振動発生装置を振動させるのに必要な最低出力電圧で同振動発生装置に振動を発生させる段階と、比カウンタが計数した上記振動発生装置の振動鏡により生成される測定用照射光の干渉縞の振動数と上記振動発生装置が発生する振動の振動数との比の値rを取り込む段階と、上記測定用照射光の波長をλとし上記振動発生装置が発生する振動の振動数をfとしたときの振動加速度を検出振動加速度accとして[数1]式【数1】検出振動加速度acc=λ/8×r×(2πf)2で与えられる検出振動加速度を演算する段階と、演算された検出振動加速度が上記目標振動加速度ref-acc に達したか否かを判定する段階と、判定の結果検出振動加速度が上記目標振動加速度ref-acc に満たないときに上記振動発生装置を振動させるための更新出力電圧out を[数2]式【数2】更新出力電圧out=(前回出力電圧out)×(目標振動加速度ref-acc/検出振動加速度acc)に従って演算する段階と、前段階において演算された更新出力電圧out の下で上記振動発生装置に振動を発生させる段階と、上記検出振動加速度acc が上記目標振動加速度ref-acc に達したときの上記被校正振動ピックアップの検出出力電圧Vを読み取る段階と、上記検出振動加速度acc が上記目標振動加速度ref-acc に達したときの検出振動加速度acc を達成振動加速度Aとし上記被校正振動ピックアップの感度を感度Sとして[数3]式【数3】感度S=(被校正振動ピックアップの検出出力電圧V)/(達成振動加速度A)で与えられる感度を演算する段階とを含むことを特徴とする、干渉縞計数法を用いた振動ピックアップの絶対校正法における自動化方法。
IPC (4件)：
G01H 1/00
, G01H 9/00
, G01M 7/02
, G01P 21/00
G01H 1/00 Z
, G01H 9/00 C
, G01P 21/00
, G01M 7/00 C
