特許
J-GLOBAL ID:200903020558636358

ガスセンサー素子およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 深井 敏和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-063316
公開番号(公開出願番号):特開2006-250537
出願日: 2005年03月08日
公開日(公表日): 2006年09月21日
要約:
【課題】 高い被毒耐久性および高い被水耐久性を有する被毒防止層でセンサー部およびヒーター部を被覆したガスセンサー素子およびその製造方法を提供することである。 【解決手段】 固体電解質層の片面に検知電極を形成し、他面に基準電極を形成してなるセンサー部と、前記基準電極側の固体電解質層と接面してセンサー部と一体に形成され内部に発熱体5を埋設したヒーター部と、前記センサー部およびヒーター部を被覆した被毒防止層2とを備えたガスセンサー素子1であって、前記センサー部側の被毒防止層2の厚みTが、発熱体5における発熱部6の長さLの範囲内に最大値Tmaxを有することを特徴とするガスセンサー素子1およびその製造方法である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
固体電解質層の片面に検知電極を形成し、他面に基準電極を形成してなるセンサー部と、前記基準電極側の固体電解質層と接面してセンサー部と一体に形成され内部に発熱体を埋設したヒーター部と、前記センサー部およびヒーター部を被覆した被毒防止層とを備えた長尺板状のガスセンサー素子であって、 前記センサー部側の被毒防止層の厚みTが、発熱体の発熱部長さLの範囲内に最大値Tmaxを有することを特徴とするガスセンサー素子。
IPC (1件):
G01N 27/409
FI (1件):
G01N27/58 B
Fターム (5件):
2G004BB01 ,  2G004BF01 ,  2G004BF05 ,  2G004BF12 ,  2G004BJ03
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (10件)
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