薄膜分光フィルター

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-090167
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294729
出願日： 1994年04月27日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【構成】本発明は、島状化した不連続なAg、Au、Cu等の金属薄膜とSiO2 、MgO2 等の誘電体薄膜とを交互に積層した多層膜により構成された薄膜分光フィルターである。【効果】比較的容易な作製法を用いて薄膜分光フィルターの高耐久性化が図られ、また使用する誘電体および金属薄膜の種類により様々な特性のものを設計することができる。その結果、安価でかつ耐環境性に優れた高性能な薄膜分光フィルターを提供することができる。

請求項（抜粋）：

島状化した不連続な金属薄膜と誘電体薄膜とを交互に積層した多層膜により構成されたことを特徴とする薄膜分光フィルター。

IPC (3件)：

G02B 5/28 , B32B 7/02 103 , B32B 15/08

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