特許
J-GLOBAL ID：200903020567363879
インピーダンス整合装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
吉田 稔
, 田中 達也
, 仙波 司
, 古澤 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-286882
公開番号（公開出願番号）：特開2006-166412
出願日： 2005年09月30日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：
【課題】精度よくインピーダンス整合を行うことのできるインピーダンス整合装置を提供する。【解決手段】本発明のインピーダンス整合装置3は、高周波電源1と負荷5との間に設けられ、可変キャパシタVC1,VC2のインピーダンスを変化させることにより、高周波電源1と負荷5とのインピーダンスを整合させるためのものであって、入力端3aにおける進行波の電圧Vfi及び反射波の電圧Vriと、予め測定することによって取得された、可変キャパシタVC1,VC2の可変値に関する情報と、この情報に対応するインピーダンス整合装置3のTパラメータとに基づいて、出力端3bにおける進行波の電圧Vfo及び反射波の電圧Vro並びに入力端3aにおける入力反射係数Гiを算出する。そして、可変キャパシタVC1,VC2の可変値に対する入力反射係数の絶対値|Гi|のうち、最小の値を選定し、これに基づいて、インピーダンスを調整する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
高周波電源と負荷との間に設けられ、インピーダンス可変素子のインピーダンスを変化させることにより、前記高周波電源と負荷とのインピーダンスを整合させるためのインピーダンス整合装置であって、
前記インピーダンス整合装置の入力端における、前記高周波電源から前記負荷側に進行する進行波に関する情報及び前記負荷から前記高周波電源側に進行する反射波に関する情報を検出する高周波情報検出手段と、
前記インピーダンス可変素子の可変値に関する情報を検出する可変素子情報検出手段と、
予め測定することによって取得された、複数の前記インピーダンス可変素子の可変値に関する情報に対する前記インピーダンス整合装置の特性パラメータを前記インピーダンス可変素子の可変値に関する情報との対応関係を持たせて記憶する第1記憶手段と、
前記可変素子情報検出手段によって検出された前記インピーダンス可変素子の可変値に関する情報と、前記第1記憶手段に記憶された前記特性パラメータと、前記高周波情報検出手段によって検出された進行波に関する情報及び反射波に関する情報とに基づいて、前記インピーダンス整合装置の出力端における進行波に関する情報及び反射波に関する情報を算出する第1算出手段と、
前記第1算出手段によって算出された前記インピーダンス整合装置の出力端における進行波に関する情報及び反射波に関する情報と、前記第1記憶手段に記憶された複数の前記特性パラメータとに基づいて、複数の前記インピーダンス可変素子の可変値に関する情報に対する前記インピーダンス整合装置の入力端における入力反射係数を算出する第2算出手段と、
前記第2算出手段によって算出された複数の入力反射係数をインピーダンス可変素子の可変値に関する情報との対応関係を持たせて記憶する第2記憶手段と、
前記第2記憶手段に記憶された複数の入力反射係数のうち、予め設定された所望の目標入力反射係数に最も近似する入力反射係数を選定し、選定した入力反射係数に対応する前記インピーダンス可変素子の可変値に関する情報を特定する第1特定手段と、
前記第1特定手段によって特定された前記インピーダンス可変素子の可変値に関する情報に基づいて、前記インピーダンス可変素子のインピーダンスを調整する調整手段と、
を備えたことを特徴とする、インピーダンス整合装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2G028AA01
, 2G028CG08
, 2G028CG15
, 2G028CG17
, 2G028DH14
, 2G028FK01
