感光性樹脂組成物、転写材料、画像形成方法、カラーフィルター及びその製造方法、フォトマスク及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-323647
公開番号（公開出願番号）：特開2003-131378
出願日： 2001年10月22日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】露光感度が高く、アルカリ性水溶液で現像が可能で、解像度が高く、得られた着色画像の硬度、耐薬品性、耐傷性等の耐性に優れる着色感光性樹脂組成物を提供する。また、これらの特性を満足する転写材料を提供し、これらを用いてカラーフィルター、フォトマスク等の着色画像を形成する方法を提供する。【解決手段】少なくとも(1)アルカリ可溶性バインダー、(2)エチレン性不飽和二重結合を2個以上有するモノマー又はオリゴマー、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系、及び(4)着色剤、を含む着色感光性樹脂組成物であって、上記アルカリ可溶性バインダーが、少なくともカルボキシル基を有する構造単位と下記一般式(I)で示される構造単位とを有する共重合体であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。【化1】〔式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2〜R6はそれぞれ独立に水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基、アリール基、ハロゲン原子、シアノ基を表す。〕

請求項（抜粋）：

少なくとも(1)アルカリ可溶性バインダー、(2)エチレン性不飽和二重結合を2個以上有するモノマー又はオリゴマー、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系、及び(4)着色剤、を含む着色感光性樹脂組成物であって、上記アルカリ可溶性バインダーが、少なくともカルボキシル基を有する構造単位と下記一般式(I)で示される構造単位とを有する共重合体であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。【化1】〔式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2〜R6はそれぞれ独立に水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基、アリール基、ハロゲン原子、シアノ基を表す。〕

IPC (10件)：

G03F 7/038 501 , C08F220/06 , C08F220/18 , C08F220/40 , C08F290/04 , G02B 5/20 101 , G03F 1/08 , G03F 7/004 512 , G03F 7/031 , G03F 7/20 501

FI (13件)：

G03F 7/038 501 , C08F220/06 , C08F220/18 , C08F220/40 , C08F290/04 , G02B 5/20 101 , G03F 1/08 J , G03F 1/08 L , G03F 1/08 V , G03F 1/08 W , G03F 7/004 512 , G03F 7/031 , G03F 7/20 501

Fターム (64件)：

2H025AA06 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AB11 , 2H025AB13 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC19 , 2H025BC42 , 2H025BC53 , 2H025BC85 , 2H025CA14 , 2H025CA28 , 2H025CA39 , 2H025CC11 , 2H025FA17 , 2H025FA35 , 2H048BA02 , 2H048BA11 , 2H048BA45 , 2H048BA48 , 2H048BB02 , 2H048BB14 , 2H048BB15 , 2H048BB42 , 2H095BA07 , 2H095BA12 , 2H095BC06 , 2H095BC08 , 2H095BD32 , 2H095BD33 , 2H095BD34 , 2H097BA06 , 2H097CA12 , 2H097CA17 , 2H097FA02 , 2H097FA07 , 2H097JA02 , 2H097JA03 , 2H097JA04 , 2H097LA09 , 2H097LA12 , 4J027AA01 , 4J027AA02 , 4J027BA19 , 4J027BA20 , 4J027BA21 , 4J027BA23 , 4J027BA24 , 4J027BA27 , 4J027BA29 , 4J027CA34 , 4J027CB10 , 4J027CC07 , 4J027CD10 , 4J100AJ02P , 4J100AL75Q , 4J100BA40Q , 4J100BB00Q , 4J100BC43Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100JA38

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