特許
J-GLOBAL ID：200903020571095820
半導体露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-270430
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082411
出願日： 1991年09月24日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】 人手を介することなく迅速にウエハチャックをクリーニング可能とし、装置環境を乱すことなく装置を安定に稼働させ生産性の向上を図った半導体露光装置を提供する。【構成】 XYステージ1上のウエハチャック2にウエハを吸着保持して、レチクルパターンを該ウエハ上に露光転写する半導体露光装置において、前記ウエハチャック2のウエハ搭載面をクリーニングするためのクリーニング手段3,10を具備する。
請求項（抜粋）：
XYステージ上のウエハチャックにウエハを吸着保持して、レチクルパターンを該ウエハ上に露光転写する半導体露光装置において、前記ウエハチャックのウエハ搭載面をクリーニングするためのクリーニング手段を具備したことを特徴とする半導体露光装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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