特許

J-GLOBAL ID：200903020573403122

同時作動シリンダ装置及びICの多数個同時検査装置

発明者： 染谷 久雄
出願人/特許権者： 藤倉ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-331689
公開番号（公開出願番号）：特開2001-146905
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【目的】 多数のシリンダ装置を同時に作動させることができる同時作動シリンダ装置を得る。【構成】 基板に、同時に圧縮空気が吸排される複数の圧縮空気吸排開口を形成し、これら吸排開口にそれぞれ、シリンダボディと、ピストン体と、ピストン体を基板に接近させる方向に移動付勢するばね手段と、吸排開口に圧縮空気が供給されたときばね手段に抗してピストン体を基板から突出させる圧力室とを有するシリンダユニットを設けた同時作動シリンダ装置。例えば、被検ICを基板に押し付けるICの多数個同時検査装置に適用できる。

請求項（抜粋）：

複数の圧縮空気吸排開口を有する基板;これらの複数の吸排開口に同時に圧縮空気を吸排する同時吸排手段;及び上記基板の吸排開口にそれぞれ設けられたシリンダユニット;を有し、上記各シリンダユニットは、上記基板の吸排開口に気密に嵌合固定される筒状部を有するシリンダボディ;シリンダボディに支持されたピストン体;このピストン体を常時は基板に接近させる方向に移動付勢するばね手段;及びシリンダボディ内にダイアフラムを介して形成され、吸排開口に圧縮空気が供給されたときばね手段に抗してピストン体を基板から突出させる圧力室;を有することを特徴とする同時作動シリンダ装置。

IPC (2件)：

F15B 15/10 ,  G01R 31/26

FI (2件)：

F15B 15/10 Z ,  G01R 31/26 H

Fターム (10件)：

2G003AA07 ,  2G003AB01 ,  2G003AC03 ,  2G003AG08 ,  2G003AG12 ,  3H081AA16 ,  3H081BB03 ,  3H081CC20 ,  3H081HH04 ,  3H081HH10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• マニホールドシリンダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-056245   出願人：シーケーディ株式会社
• 特開昭60-094829
  
• ICハンドラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-099242   出願人：株式会社日立製作所, 日立清水エンジニアリング株式会社