位置検出装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：筒井大和 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-152367
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344305
出願日： 1998年06月02日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】簡単な構造で移動体の位置を高精度で検出し得るようにする。【解決手段】移動部材Wには、四角錐形状の凹面Cを構成する4つの反射面11〜14を有する反射部材10が設けられている。この凹面Cには所定のビーム径を有し光源16から入射されるレーザービームが照射されるようになっており、レーザービームがそれぞれの反射面に照射されて、それぞれの反射面からの反射光が入射される受光素子21〜24が反射部材10に対向して配置されている。移動部材WがX軸方向やY軸方向に変位した場合には、受光素子21〜24に入射される反射光の光強度が変化することから、変位した方向とその量が検出されることになる。

請求項（抜粋）：

移動体に光源からの入射光を照射して前記移動体からの反射光により前記移動体の前記入射光に対して直角方向である横方向の移動量を検出する位置検出装置であって、前記入射光の照射される位置を頂点として前記入射光周りに相互に所定の角度をなして前記移動体に形成された少なくとも3つの角錐形状の反射面と、それぞれの前記反射面からの反射光を受光する少なくとも3つの受光手段と、それぞれの前記受光手段のうち2つの受光手段に到達した反射光の強度に応じて、前記入射光に対して直角方向をなすX方向の強度差を演算するX方向強度差演算手段と、それぞれの前記受光手段のうち2つの受光手段に到達した反射光の強度に応じて、前記X方向に対して直角方向をなすY方向の強度差を演算するY方向強度差演算手段と、前記X方向の強度差に基づいて前記移動体のX方向の移動量を演算するX方向移動量演算手段と、前記Y方向の強度差に基づいて前記移動体のY方向の移動量を演算するY方向移動量演算手段とを有することを特徴とする位置検出装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01D 5/26

FI (2件)：

G01B 11/00 C , G01D 5/26 E

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開平1-142402
特開平1-142403
三次元変位測定方法及び三次元変位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-042830 出願人：工業技術院長, 株式会社大林組

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