特許

J-GLOBAL ID：200903020578802513

シリコーン樹脂の除去法

発明者： 南 伸太朗 ,  西村 浩之 ,  足立 悦志 ,  田島 享 ,  石川 英一 ,  足達 廣士 ,  山本 茂之
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-054566
公開番号（公開出願番号）：特開平8-250400
出願日： 1995年03月14日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 特定のシリコーン樹脂の硬化塗膜を除去すること。【構成】 特定の化合物を重合させてなるシリコーン樹脂の硬化塗膜を、硫酸と過酸化水素水との混合溶剤、フッ酸、およびアンモニア水よりなる群から選ばれた少なくとも1種の溶剤を含む処理液による少なくとも2回の処理工程からなる湿式法で除去するシリコーン樹脂の除去法。

請求項（抜粋）：

式(I):【化1】(式中、R1は同じかまたは異なり、いずれもフェニル基、低級アルキル基または感光性基であり、R2は同じかまたは異なり、いずれも水素原子、低級アルキル基または感光性基であり、nは2〜5000の整数である)で示される化合物を重合してなるシリコーン樹脂の硬化塗膜を湿式法で除去するシリコーン樹脂の除去法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/32

FI (3件)：

H01L 21/30 574 ,  G03F 7/32 ,  H01L 21/30 572 B