光導波回路の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：光石俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-001818
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197737
出願日： 1997年01月09日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】低損失で高消光比であるアレー導波路型回折格子の製造方法を提供することにある。【解決手段】コア5と前記コア5を包囲する下部クラッド2および上部クラッド6からなる光導波回路の製造方法において、平面基板1上に下部クラッド2を形成し、前記下部クラッドに矩形断面の溝3をフォト工程とエッチング工程により形成し、前記溝3を含む前記下部クラッド2上にコア層4を形成し、ついで前記コア層4の表面を平坦化し、さらに前記コア層4をエッチングにより除去して構3内のみにコア層4を残して矩形断面のコア5となし、その後前記コア5を埋め込む上部クラッド6を形成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

コアと前記コアを包囲する下部クラッドおよび上部クラッドからなる光導波回路の製造方法において、平面基板上に下部クラッドを形成し、前記下部クラッドに矩形断面の溝をフォト工程とエッチング工程により形成し、前記溝を含む前記下部クラッド上にコア層を形成し、ついで前記コア層の表面を平坦化し、さらに前記コア層をエッチングにより除去して溝内のみにコア層を残して矩形断面のコアとなし、その後前記コアを埋め込む上部クラッドを形成することを特徴とする光導波回路の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

光導波回路の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-181158 出願人：日本電信電話株式会社
導波路作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-025260 出願人：住友電気工業株式会社
マルチチップモジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-327133 出願人：日本電気株式会社

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