特許

J-GLOBAL ID：200903020582954395

圧力センサ及び圧力センサの製法

発明者： フランク ヘグナー ,  マンフレート フランク ,  トーマス クレーン
出願人/特許権者： エンドレス ウント ハウザー ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング ウント コンパニー
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-004482
公開番号（公開出願番号）：特開平7-049277
出願日： 1991年01月18日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：

【要約】【目的】 ろう接作業パラメータの選択範囲を狭めず、かつコンデンサ電極及びコンデンサ電極の接触箇所及びダイアフラムと基体との接合箇所(活性ろう)にとって適当である材料を、圧力センサのために提供する。【構成】 圧力センサ10を構成する基体12とダイアフラム11とを、セラミックス又はガラス又は単結晶材料から製作する。また、基体12とダイアフラム11との互いに向かい合う面を、炭化珪素又はニオビウム又はタンタルから成るコンデンサ電極14,15によって被覆する。さらに、各電極の互いに向かい合う面を、この電極を成す材料の酸化物から成る保護層21,22によって被覆する。そして、基体12とダイアフラム11とを接合するために、反応性元素を含有した延性の活性ろう又は脆性の活性ろうを使用する。

請求項（抜粋）：

基体(12)及びダイアフラム(11)を有する圧力センサ(10)であって、基体(12)とダイアフラム(11)とが、少なくとも縁部の閉鎖された室(13)を形成しながら結合されている形式のものにおいて、基体(12)及び/又はダイアフラム(11)が、セラミックス又はガラス又は単結晶材料から製作されており、ダイアフラム(11)の、基体(12)に向いた面が、炭化珪素又はニオビウム又はタンタルから成る層によって被覆されており、この層が第1のコンデンサ電極(14)として作用しており、この層の自由な表面が保護層(21)によって被覆されており、室(13)内部における基体(12)の、ダイアフラム(11)に向いた面が、炭化珪素又はニオビウム又はタンタルから成る少なくとも1つの層によって被覆されており、この層が第2のコンデンサ電極(15)として作用しており、この層の自由な表面が別の保護層(22)によって被覆されており、基体(12)とダイアフラム(11)とが、スペーサとしても作用する、活性ろう(20)から成る成形部材によってろう接されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/12 ,  H01L 29/84