塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-058962
公開番号（公開出願番号）：特開平5-076814
出願日： 1988年02月10日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】被塗布材の裏面と洗浄ノズルとの相対位置関係を変化させずに常時確実な洗浄を実施できる塗布装置を提供すること。【構成】ウエハ1は回転可能なスピンチャック10にその裏面が支持され、ウエハ1を回転しながらレジストノズル30よりレジスト液を滴下してレジスト液をスピンコートする。このウエハ1の裏面と対向する位置にはモータ20の取り付け用のフランジ21が配置され、このフランジ21に、スピンコート後にウエハ1の裏面を洗浄するための裏面洗浄ノズル50が支持されている。。

請求項（抜粋）：

回転可能なチャックに被塗布材の裏面を支持して液飛散防止カップ内に配置し、この被塗布材の表面に塗布材を滴下し、被塗布材を回転することにより塗布材を塗布する塗布装置において、チャックに支持される被塗布材の裏面と対向する位置に配置されかつ前記液飛散防止カップに囲まれた位置に配置された固定ベースに、被塗布材の裏面を洗浄する洗浄ノズルを支持したことを特徴とする塗布装置。

IPC (4件)：

B05C 11/08 , G03F 7/16 502 , H01L 21/027 , H01L 21/304

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭60-142517
特開昭55-165170
特開昭60-234321

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