特許

J-GLOBAL ID：200903020587877372

電子線分析装置

発明者： 飯田 信雄 ,  無漏田 正雄
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-292810
公開番号（公開出願番号）：特開平5-135726
出願日： 1991年11月08日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：

【要約】【目的】 2次電子検出器のつくる電場を抑制し、電場をワークディスタンスと自動的に連動させ、チャージアップの少ない状態で試料を観察する。【構成】 電子ビームを試料に照射することにより試料から放出される2次電子を検出する2次電子検出器を備えた電子線分析装置において、2次電子検出器の検出面の前方に先拡がりの開口を有し上下に2分割したラッパ型の捕集電極21 、22 を設け、該上下の捕集電極21 、22 に印加する電圧を対物レンズ1と試料との間のワークディスタンスWDの変化に連動して変える。この捕集電極21 、22 の印加電圧の制御により、試料にチャージアップが生じないように2次電子検出器のつくる電場を制御することができ、ワークディスタンスの変化に伴って観察画像の画質が劣化するのを防ぐことができる。また、捕集電極の印加電圧を変えて2次電子の捕集電場の形状を変えることができるので、観察目的に応じて2次電子検出器の位置を移動させると同様の制御を行うことができる。

請求項（抜粋）：

電子ビームを試料に照射することにより試料から放出される2次電子を検出する2次電子検出器を備えた電子線分析装置において、2次電子検出器の検出面の前方に先拡がりの開口を有し上下に2分割したラッパ型の捕集電極を設け、該上下の捕集電極に印加する電圧を対物レンズと試料との間のワークディスタンスの変化に連動して変えるようにしたことを特徴とする電子線分析装置。

IPC (3件)：

H01J 37/244 ,  G01T 1/28 ,  G01T 7/00