特許
J-GLOBAL ID：200903020596918189
微細加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
横沢 志郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-212791
公開番号（公開出願番号）：特開2006-026864
出願日： 2004年07月21日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
【課題】 極細ドリルなどの微細加工用の回転工具を用いて効率良く微細加工を行うことのできる微細加工装置を提案すること。【解決手段】 微細加工装置1のスピンドル軸2は、空気静圧式のラジアル軸受5、6およびスラスト軸受7、8によって支持され、ノズル12を介して供給される一定圧力・一定流量の空気流によって高速回転し、その先端に取り付けた極細ドリル4によってワークWに微細穴を加工する。極細ドリル4に過負荷が作用してスピンドル軸2が後方に押されて移動すると、その後端側の軸部分2bに組み付けた静電容量型のスラストセンサ15によって、そのスラスト方向の移動が検出される。制御部20は、センサ出力に基づき過負荷状態であると判別すると、スピンドル軸2の送り、あるいは回転を止めて、極細ドリル4の折損などを未然に防止する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
微細穴加工用ドリルなどの微細加工を行う回転工具を回転駆動するためのスピンドル軸と、
前記スピンドル軸を回転自在の状態で支持している支持部と、
前記スピンドル軸を回転駆動するための回転駆動機構と、
前記スピンドル軸に作用する負荷の状態を検出するための非接触型のセンサとを有し、
前記センサは、前記支持部に対する前記スピンドル軸のスラスト方向への微小移動を検知するスラストセンサ、および/または、前記スピンドル軸の回転状態を検出する回転センサであることを特徴とする微細加工装置。
IPC (4件)：
B23B 49/00
, B23B 41/00
, B23Q 1/38
, B23Q 17/00
B23B49/00 C
, B23B41/00 A
, B23Q1/38 Z
, B23Q17/00 Z
3C029EE01
, 3C029EE02
, 3C036AA00
, 3C036LL09
, 3C048CC07
, 3C048DD12
, 3C048DD13
