特許
J-GLOBAL ID：200903020604452399
圧力変換器とその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-067223
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005487
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 先行技術の欠点が除去された改良電気接続形式を有する圧力変換器と、その製造方法とを提供する。【構成】 単体型の容量性圧力変換器12が、圧力下で別個に形成されるダイアフラム22と基材24とから成り、基材頂面には凹所が設けられている。ダイアフラム22と基材24とには金属層が付着せしめられ、これら金属層には、ダイアフラム上に形成された端子パッドと、このパッドに同心配置された端子受容孔周囲の基材上に形成された接合パッド20bが含まれている。
請求項（抜粋）：
容量性圧力変換器において、外周部及び上下の面を有するセラミック材料製ボディと、上面に隣接するボディ内の閉じられた空所(26)とが備えられ、前記空所が頂壁と、底壁と、側壁(28)とを有し、ギャップにより互いに隔離された頂壁と底壁とには、それぞれ導電層が設けられ、導電径路が、半径方向外方へ頂壁上の層から、外周部内側近くの第1端子パッドまで延び、かつ一平面上に配置され、更に、導電径路が半径方向外方へ底壁上の層から、半径方向外方へ側壁に沿って外周部内側近くの第1接合パッドまで延び、かつ第1端子パッドから間隔をおいて、事実上前記平面上に配置され、更にまた、第2端子パッドが前記平面上に前記第1接合パッドと同心配置されており、更に第1と第2の孔が、底面からボディを貫通して前記平面まで上方へ延び、かつ第1及び第2端子パッドそれぞれと同心的に位置せしめられ、前記第2の孔が、第1接合パッドは貫通し、第2端子パッドは貫通せずに延びており、更に、端子ピンが各孔内に配置され、これら端子ピンを各第1及び第2端子パッドに電気接続する手段が備えられていることを特徴とする容量性圧力変換器。
IPC (2件)：
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