特許

J-GLOBAL ID：200903020608282048

ボール外観検査方法および装置ならびに半導体装置の製造方法

発明者： 和田 雄二 ,  赤岩 正康
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-118963
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310511
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】 変形したボールを含む種々の形態のボールのボール高さなどのボール寸法を正確に測定することができるボール外観検査方法および半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】 外観検査装置を使用して、半導体装置などの試料に設置されているボール4における認識可能なボール位置から走査線10を計算し、走査線10上を走査してボール高さなどのボール寸法を測定するものである。

請求項（抜粋）：

半導体装置などの試料に設置されているボールにおける認識可能なボール位置から走査線を計算し、前記走査線上を走査してボール寸法を測定することを特徴とするボール外観検査方法。

IPC (3件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/00 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 11/02 Z ,  G01B 11/00 B ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 H

Fターム (45件)：

2F065AA01 ,  2F065AA17 ,  2F065AA21 ,  2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065BB07 ,  2F065CC26 ,  2F065DD00 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL04 ,  2F065LL65 ,  2F065MM16 ,  2F065MM22 ,  2F065PP04 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ38 ,  4M106AA02 ,  4M106AA04 ,  4M106AA20 ,  4M106BA05 ,  4M106CA38 ,  4M106CA60 ,  4M106CA70 ,  4M106DB04 ,  4M106DB08 ,  4M106DB19 ,  4M106DB21 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ38 ,  4M106DJ40