特許

J-GLOBAL ID：200903020609743529

熱伝導率測定プローブおよび熱伝導率測定装置および方法

発明者： 谷川 明男
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-018572
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221280
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 試料の熱伝導率を高い空間分解能で測定できるようにする。【解決手段】 熱伝導率測定プローブ1の先端部3と試料との接触面積および先端部3の熱伝導効率に所定の条件を設定することにより、試料の熱伝導率を高い空間分解能で測定できるようにした。

請求項（抜粋）：

温度を測定する機能と調節する機能とを先端部に具備し、該先端部を試料の表面に接触させて熱伝導率の測定に利用される熱伝導率測定プローブにおいて、前記試料と接触する部分の面積をS(m2)、前記先端部の熱容量をCP(J/K)としたとき、S≦1×10-15CP≦3.5×106Sなる関係を満足することを特徴とする熱伝導率測定プローブ。