特許
J-GLOBAL ID:200903020610219337
レ-ザ加工装置および加工方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-285583
公開番号(公開出願番号):特開2000-117479
出願日: 1998年04月28日
公開日(公表日): 2000年04月25日
要約:
【要約】【課題】 レーザの輝度を容易に変更可能な手段を提供しビアホールの加工品質を改善する。【解決手段】 レーザ発振器と集光レンズの間に、マスクを配置して、そのマスクに照射するビーム径を変更するコリメータとコリメータを制御する制御手段を有する。
請求項(抜粋):
レーザ光を出力するレーザ発振器と、前記レーザ発振器とレーザ光により加工される被加工物の間に配置されたマスクと、前記マスクと前記被加工物の間に配置された転写レンズおよび前記レーザ発振器と前記マスクの間に2つ以上のコリメータを備え、前記コリメータの1つを前記レーザ光線上に移動する移動手段を設けたレーザ加工装置。
IPC (4件):
B23K 26/06
, B23K 26/00 330
, G02B 27/09
, H05K 3/00
FI (7件):
B23K 26/06 E
, B23K 26/06 A
, B23K 26/06 J
, B23K 26/06 Z
, B23K 26/00 330
, H05K 3/00 N
, G02B 27/00 E
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特許第3052931号
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電子写真画像形成方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-270646
出願人:三菱化学株式会社, 株式会社荏原製作所
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特開平4-327394
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