特許
J-GLOBAL ID：200903020632155618
製造工程管理システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-346444
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196544
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 工程管理用ホストが故障しても搬送系に支障を来たすことがない製造工程管理システムを得る。【構成】 各ロットケース6にはICカード11が装着され、ICカード11には、次にロットケースを保管すべきストッカを指示する行先情報が記憶データとして格納されている。ストッカ制御部4′には、R/W10が具備されたストッカ管理端末9が設けられ、R/W10はICカード11の記憶データを読み書き可能である。ストッカ制御部4′は、ICカード11より得た行先情報に基づき、行先情報の指示するストッカへの移動を指示する移動命令を走行制御部3に出力する。【効果】 ストッカ制御手段により、ロットケースのストッカ間移動が制御されるため、工程管理用ホストへの負荷を軽減するとともに、工程管理用ホストが故障しても搬送系に支障を来たすことがない。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハを収納したロットケースを保管する複数のストッカが所定の位置に配置され、前記複数のストッカのそれぞれに対応づけて半導体製造装置が配置された製造ライン上において、所定の製造工程にそって、前記複数のストッカのいずれかに前記ロットケースを一時的に保管した後、前記半導体製造装置による前記半導体ウェハに対する所定の製造処理を順次施し、半導体集積回路を製造する製造工程管理システムであって、前記複数のストッカ間における前記ロットケースの搬送が可能なストッカ間搬送手段と、前記ロットケースに装備され、前記ロットケースが次に保管されるべきストッカを指示する行先情報を読み書き可能に格納した記憶手段と、前記半導体製造装置による所定の処理が終了する毎に、前記記憶手段に格納された前記行先情報の更新を行う行先情報更新手段と、前記記憶手段に格納された前記行先情報に基づき、前記ロットケースの前記複数のストッカのいずれかへの移動を指示する移動指令を出力するストッカ制御手段と、前記移動指令に基づき、前記ストッカ間搬送手段を制御し、前記ロットケースを前記移動指令の指示するストッカに移動させる搬送制御手段と、前記記憶手段に格納された前記行先情報の経時変化に基づき、前記ロットケース内の前記半導体ウェハの処理状況を把握し、前記所定の製造工程の手順の変更等の工程管理を行う工程管理手段とを備えた製造工程管理システム。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B65G 37/02
, B65G 49/07
, G06F 15/21
, H01L 21/02
