特許

J-GLOBAL ID：200903020636650451

平面表示装置

発明者： 岡井 誠 ,  佐々木 進 ,  矢口 富雄 ,  宗吉 恭彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-296845
公開番号（公開出願番号）：特開2002-110073
出願日： 2000年09月28日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：

【要約】【課題】従来、カーボンナノチューブのような微細繊維構造を有する物質を電子源として用いる場合、微細繊維物質を有機バインダー等と混ぜて、基板上に印刷する方法が一般に用いられていた。しかしながら、この方法では、印刷により作製したカーボンナノチューブの表面の凹凸が10ミクロン以上あるために、その上にゲート構造を作製し、ゲートとカーボンナノチューブの距離を数ミクロンに制御して、ゲート電圧を数ボルトから数十ボルト程度に低減することが不可能であった。【解決手段】通常のホトプロセスおよびドライプロセス等の利用により、ゲート電極102とカソード電極101の間隔が数ミクロンから数十ミクロンになるように、電極構造を作製し、インクジェット法等の手法により、カソード電極表面の所望の位置に、カーボンナノチューブの含有膜105の膜厚を数ミクロンの精度で制御して作製し、ゲート電極とカーボンナノチューブ先端の距離を数ミクロンから数十ミクロンに制御することにより、ゲート電圧を数ボルトから数十ボルト程度に低減することを可能にした。

請求項（抜粋）：

単層あるいは多層の金属薄膜により形成された複数の第1の電極と、単層あるいは多層の金属薄膜により形成された複数の第2の電極とを、絶縁膜をはさんで交差せしめた配線構造と、該配線構造に対面して配設された第3の電極との間に加速電圧を印加することにより画像を表示するようにした平面表示装置にあって、前記交差部分に少なくとも一個の任意形状の開口部を有し、かつ、該開口部は、ドライエッチング法により前記第2の電極と前記絶縁膜を貫通して前記第1の電極表面に達するように形成され、その底部に微細繊維構造物質層を配してなることを特徴とする平面表示装置。

IPC (2件)：

H01J 31/12 ,  H01J 1/304

FI (2件)：

H01J 31/12 C ,  H01J 1/30 F

Fターム (4件)：

5C036EF01 ,  5C036EF08 ,  5C036EG02 ,  5C036EG12