半導体装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-091393
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286390
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】光照射に高い位置合わせ精度を必要とせず、しかもリアルタイムに動作モードを切り替えることができる半導体装置を提供する。【解決手段】光電変換素子として、そのゲートが非アクティブ状態の電位に接続され、光の照射/非照射に対応してオン/オフするトランジスタを用い、この光電変換素子を介して電源とグランドとの間に流れる電流を電圧に変換して、光の照射時間に対応するパルス幅のモード設定信号を発生し、このモード設定信号の制御によって、内部回路の複数の動作モードを切り替える動作モード信号を発生することにより、上記課題を解決する。

請求項（抜粋）：

そのゲートが非アクティブ状態の電位に接続され、光の照射/非照射に対応してオン/オフするトランジスタからなる光電変換素子と、この光電変換素子を介して電源とグランドとの間に流れる電流を電圧に変換し、前記光の照射時間に対応するパルス幅のモード設定信号を発生する電流電圧変換回路と、前記モード設定信号の制御により、内部回路の複数の動作モードを切り替える動作モード信号を発生するステートマシンとを有するテスト回路を搭載していることを特徴とする半導体装置。

IPC (4件)：

H01L 27/04 , H01L 21/822 , G01R 31/28 , H01L 23/02

FI (3件)：

H01L 27/04 T , H01L 23/02 J , G01R 31/28 V

Fターム (17件)：

2G032AB01 , 2G032AB02 , 2G032AE07 , 2G032AE11 , 2G032AF01 , 2G032AG07 , 2G032AH07 , 2G032AK03 , 2G032AK19 , 5F038AZ07 , 5F038DF01 , 5F038DF14 , 5F038DF17 , 5F038DT02 , 5F038DT04 , 5F038DT18 , 5F038EZ20

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平1-292273
特開平4-181187
特開昭64-069977

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