特許
J-GLOBAL ID：200903020649098324
ガラス基板の欠陥種別判定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087049
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257642
出願日： 1996年03月18日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 ガラス基板に存在する3種の欠陥を検出し、その種別が異物、スクラッチ傷、気泡のいずれであるかを判定する。【解決手段】 基板1の裏面側より、波長帯域の異なる(例えば白色光束と赤色光束)を、基板1に対して約20°の入射角θ1 と約60°の入射角θ2 でそれぞれ投射し、基板の表面側に、光軸が基板に垂直な受光系を設け、その集光レンズにより各欠陥の散乱光のみを集光し、ハーフミラーHMとフィルタFa,Fb により、散乱光を白色光と赤色光に分割して、それぞれをCCDセンサ(A),(B)で受光し、両CCDセンサの出力する欠陥信号Sa,Sb の強度をia,ib 、欠陥信号Sa またはSb を画像処理して求めた各欠陥の長さと幅をL,Wとし、両強度の比ia /ib と、L,Wの比L/Wとを、判定基準R1,R2 にそれぞれ比較して、異物Ki、スクラッチ傷Ks、気泡Kb を判定する。
請求項（抜粋）：
液晶パネル用のガラス基板の、TFTを形成する表面またはその裏面に存在する異物Ki とスクラッチ傷Ks 、および該ガラス基板の内部に存在する気泡Kbの3種の欠陥の種別判定において、該ガラス基板の裏面側に設けた投光系により、波長帯域の異なる少なくとも2本の光束を、該ガラス基板の検査位置に対して小さい入射角と大きい入射角でそれぞれ投射し、該ガラス基板の表面側に、光軸が該ガラス基板に垂直な受光系を設け、該受光系が有する前記各光束の入射しない狭い受光視角の集光レンズにより、前記各欠陥による前記各光束の散乱光を集光し、該集光された散乱光を前記異なる波長帯域に分割して、それぞれのCCDイメージセンサにより受光し、該両CCDイメージセンサの出力する欠陥信号Sa,Sb の強度ia,ib の比ia /ib と、該欠陥信号Sa またはSb を画像処理して求めた前記各欠陥の長さLと幅Wの比L/Wを算出し、該両比ia /ib ,L/Wに対する判定基準をそれぞれR1,R2 として、下記の各判定条件: (ia /ib >R1 ,L/W>R2 ):Ks .........条件(1) (ia /ib >R1 ,L/W≦R2 ):Kb .........条件(2) (ia /ib ≦R1 ,L/W>R2 ):Ks .........条件(3) (ia /ib ≦R1 ,L/W≦R2 ):Ki .........条件(4)により、前記異物Ki 、スクラッチ傷Ks 、気泡Kb をそれぞれ判定することを特徴とする、ガラス基板の欠陥種別判定方法。
IPC (3件)：
G01M 11/00
, G01N 21/88
, G06T 7/00
G01M 11/00 T
, G01N 21/88 D
, G01N 21/88 J
, G06F 15/62 400
