特許

J-GLOBAL ID：200903020650900487

超音波検査装置

発明者： 松本 貴裕 ,  林 一雄 ,  大門 正博
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-115172
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285823
出願日： 1995年04月17日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 検査対象である試料から十分に離れた距離から試料内に超音波を発生させることができ、同時にこの超音波を非接触で、かつ高い感度で検知することが可能な超音波検査装置を提供する。【構成】 パルス列からなるレーザー光16は、試料17に照射されて内部に超音波を発生させるとともに、その一部は光検出部20によって参照信号21とされる。試料内に発生した超音波パルス列は、プローブ用レーザー光31が受けるドップラーシフトをファブリ・ペロー干渉計34で捉えることによって検出する。参照信号21のパルス信号と、試料内の超音波パルス列は、高い相関性を有している。このため、相関処理部40において、参照信号21を用いて検出信号36に対して相関処理を行うことにより、相関信号41の高いS/N比が実現でき、高い精度で試料内部の欠陥検査ができる。

請求項（抜粋）：

レーザーパルス列を発生させて検査対象である試料に照射するレーザーパルス列発生手段と、前記試料内に発生する超音波振動を検出し電気信号として出力する超音波検出手段と、前記レーザーパルス列の一部を取り出して電気信号に変換し、参照信号として出力する参照信号生成手段と、前記参照信号を用いて前記超音波検出手段の出力信号に対して相関処理を行い、前記レーザーパルス列によって発生した超音波に関する信号を取り出す相関処理手段と、を具備することを特徴とする超音波検査装置。

IPC (3件)：

G01N 29/04 ,  G01B 17/00 ,  G01N 29/00 501

FI (3件)：

G01N 29/04 ,  G01B 17/00 Z ,  G01N 29/00 501