特許
J-GLOBAL ID：200903020655316902
マイクロバルブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
足立 勉 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-548627
公開番号（公開出願番号）：特表2002-514717
出願日： 1999年05月08日
公開日（公表日）： 2002年05月21日
要約：
【要約】本発明は、バルブチャンバ(13)を二つのチャンバ部(14,15)に分けるバルブ部材(7)を含むマイクロバルブに関する。第1チャンバ部(14)は、ダクト層(3)によって規定され、該ダクト層(3)は、入力フロー開口部(17)と、少なくとも一つの出力フロー開口部(22,23)とを有する。入力フロー開口部(17)及び出力フロー開口部(22,23)間の流体移動は、バルブ部材(7)によって制御されるように構成されてもよい。更に、バルブ部材(7)が開位置にある時効力を有する圧力逃がし手段が設けられ、該手段は、バルブ部材上に、出力フロー開口部(22,23)に対向して少なくとも部分的に重なり合うように設けられた、移動する流体の膨張を許容する少なくとも一つの膨張凹部(38)を備える。該膨張凹部(38)は、バルブ部材(7)を通じて、第2チャンバ部(15)に接続され、その結果、ここで反対圧力が増加し、圧力が逃がされる。
請求項（抜粋）：
バルブチャンバ(13)を備え、該バルブチャンバ(13)において、該バルブチャンバ(13)を二つのチャンバ部(14,15)に分ける形で、隔膜状又は板状バルブ部材(7)が配置されたマイクロバルブであって、該マイクロバルブは、前記バルブ部材(7)に対向配置され、前記二つのチャンバ部(14,15)のうち第1チャンバ部を規定するダクト層(2,3)を備え、該ダクト層は、前記バルブ部材(7)と対向した側に、入力フローダクト(16)と連通した入力フロー開口部(17)と、出力フローダクト(24,25)と連通した少なくとも一つの出力フロー開口部(22,23)とを有し、前記バルブ部材(7)は、前記入力フロー開口部(17)を閉じる閉位置と、前記入力フロー開口部(17)を開き、それによって、前記第1チャンバ部(14)を通って、前記入力フローダクト(17)から前記出力フローダクト(24,25)へ流れる流体の移動を可能にする開位置との間を移動可能に構成されると共に、前記マイクロバルブは、更に、前記バルブ部材(7)の開位置において効力を有する圧力逃がし手段を備え、該手段は、前記バルブ部材(7)上に、前記出力フロー開口部(22,23)に対向して、少なくとも部分的にそれと重なり合うようにして設けられると共に、移動する流体の膨張を許容する、少なくとも一つの膨張凹部(38)を有し、該膨張凹部は、前記バルブ部材を通じて、第2チャンバ部(15)と連通することを特徴とするマイクロバルブ。
IPC (3件)：
F15C 5/00
, B81B 3/00
, F16K 31/02
F15C 5/00
, B81B 3/00
, F16K 31/02 Z
3H062AA02
, 3H062AA12
, 3H062BB10
, 3H062BB33
, 3H062CC04
, 3H062HH02
, 3H062HH06
, 3H062HH10
